特許
J-GLOBAL ID：200903029283408217
光学的測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
津川 友士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-096305
公開番号（公開出願番号）：特開平6-308031
出願日： 1993年04月22日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】【目的】 励起光を光導波路に導入して全反射させながら伝播させ、エバネッセント波成分により光導波路の表面近傍の光学的性質を示す信号光を得て励起光入射面から出射させる場合において、励起光の反射、散乱成分を低減して測定精度を高める。【構成】 半導体レーザ4から出射されるレーザ光をλ/2板5を透過させることによりP偏光とし、シリンドリカルレンズ7により集光させながらダイクロイックミラー8で反射させてスラブ型光導波路1の励起光入射用プリズム3に入射させる。
請求項（抜粋）：
光導波路(1)に励起光を導入して全反射させながら伝播させ、励起光の伝播に伴なって生じるエバネッセント波成分に基づいて光導波路(1)の表面近傍の光学的性質を示す信号光を得、信号光を光導波路(1)の励起光入射面から出射させ、励起光入射面から出射される信号光を受光することにより光導波路(1)の表面近傍の光学的性質を測定する光学的測定装置であって、励起光光源(4)(5)として、入射面に平行な偏光方向成分を主成分とする光を出射するものを採用してあることを特徴とする光学的測定装置。
IPC (3件)：
G01N 21/64
, G01N 21/27
, G01N 33/543
