特許
J-GLOBAL ID：200903029286827563
ステージの位置計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-079594
公開番号（公開出願番号）：特開平5-283313
出願日： 1992年04月01日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】【目的】 レーザ干渉計を用いて可動ステージの位置を計測するときのゆらぎの影響を低減させる。【構成】 レーザ干渉計における参照ビーム光路と測定ビーム光路との夫々にカバーを設け、かつそのカバー内に温調気体を供給する構成にする。
請求項（抜粋）：
所定の方向に移動可能なステージと、該ステージの一部に移動方向と垂直な反射面をもって固設された移動鏡と、前記ステージのベース部に対して固定的に配置された固定鏡と、前記移動鏡と固定鏡との夫々にほぼ垂直に可干渉性の光ビームを投射し、前記移動鏡と固定鏡との夫々で反射した光ビームを干渉させて受光するとともに、該干渉したビームを光電検出して計測信号を出力する光波干渉計と、該光波干渉計からの計測信号に基づいて前記ステージの位置を検知する位置検知回路とを備えた位置計測装置において、前記光波干渉計から前記固定鏡までの間のビーム光路を覆う第1の被覆手段と;前記光波干渉計から前記移動鏡までの間のビーム光路を、該ビーム光路の方向の寸法を前記ステージの移動に伴って変化させながら覆う第2の被覆手段と;前記第1の被覆手段と第2の被覆手段との内部の夫々に、制御された温度の気体を所定の流量で供給する気体供給手段と;を設けたことを特徴とするステージの位置計測装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 311 M
, H01L 21/30 301 H
