特許
J-GLOBAL ID：200903029301785490
検出装置及び処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金本 哲男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-151440
公開番号（公開出願番号）：特開平6-338558
出願日： 1993年05月28日
公開日（公表日）： 1994年12月06日
要約：
【要約】【目的】 メンテナンスが容易で、かつ気密な格納室内に収納されている収納体からのウエハの突出を検出する検出装置を提供する。【構成】 ロードロック室23のベルジャ26に、透明なビューポート32及び、発光装置と受光装置を有する検出手段35を設ける。ウエハを収納した収納カセット30が載置される載置台29に、発光装置からの検出光を受光装置に向けて反射させるプリズム31を設ける。収納カセット30からウエハW0が突出すると検出光は遮断され、そのことによってウエハW0の突出が検出される。
請求項（抜粋）：
被検出物を所定位置に収納した収納体が納入される、気密に構成された格納室と、前記格納室の外部に配置され、前記格納室の壁体の一部に設けられた透明体を介して前記格納室内部に向けて適宜の検出光を発光させる発光装置と、前記発光装置からの検出光を反射させる反射装置と、前記格納室の外部に配置され、前記反射装置からの反射光を前記格納室の壁体の一部に設けられた透明体を介して受光する受光装置とを有し、前記被検出物が前記所定位置から突出した際に、当該突出した被検出物の一部が少なくとも前記検出光又は反射光を遮断する如く、前記発光装置、前記反射装置及び前記受光装置を配置したことを特徴とする、検出装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, H01J 37/317
, H01L 21/265
, H01L 21/302
