特許
J-GLOBAL ID：200903029308949277
投影露光装置及び方法並びに半導体素子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-326501
公開番号（公開出願番号）：特開2000-150373
出願日： 1992年03月05日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：
【要約】【目的】輪帯状の2次的光源を何ら遮光することなく形成し、高い照明効率のもとで被照射面を均一に傾斜照明できる高性能な照明光学装置を提供することを目的としている。【構成】光源手段とオプティカルインテグレータとの光路間に、ほぼ平行な光束を輪帯状光束に変換する輪帯状光束変換手段を設け、その輪帯状光束変換手段は、円錐状屈折面を有する構成とした。
請求項（抜粋）：
ほぼ平行光束を供給する光源手段と、該光源手段からの平行光束によって複数の2次的な光源を形成するオプティカルインテグレータと、該オプティカルインテグレータによって形成された複数の2次的な光源からの光束を集光して被照射面を重畳的に照明するコンデンサーレンズとを有する照明光学装置において、前記光源手段と前記オプティカルインテグレータとの光路間に、ほぼ平行な光束を輪帯状光束に変換する輪帯状光束変換手段を設け、該輪帯状光束変換手段は、円錐状屈折面を持つ光学部材を有する特徴とする照明光学装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 515 D
, G03F 7/20 521
