特許
J-GLOBAL ID：200903029309489768
カセット搬送装置及びこれを備えたカセット搬送システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大岩 増雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-039931
公開番号（公開出願番号）：特開平11-238777
出願日： 1998年02月23日
公開日（公表日）： 1999年08月31日
要約：
【要約】【課題】 ウエハへのケミカルヒューム及びミストの付着による歩留低下を防止し、クリーンルームの空調稼働費が削減可能なカセット搬送システムを提供する。【解決手段】 カセット搬送装置101と半導体製造装置60の位置決め、接続完了後、各々に設けられたシャッター16、65を開き、カセット搬送装置101のクリーンゾーン8に設置された移載ロボット3により、カセット1を半導体製造装置60側のローダ/アンローダ部68に移載する。この時、クリーンゾーン8及びローダ/アンローダ部68は外部に対して正圧に保持され、且つ各々の開口部は隙間なく接続されるため、外部の汚染されたエアーが侵入することはない。また、クラス1〜10レベルの高清浄度領域をクリーンゾーン8及びローダ/アンローダ部68に局所化し、その他の作業エリア63の清浄度を低く抑えることができるため、クリーンルーム空調稼働費の大幅な削減が可能となる。
請求項（抜粋）：
エアー流量計及び圧力計を具備し、高清浄なエアーが充填されたタンク、内部にカセットが載置されるテーブルを有し、上記タンクから排出されたエアーがエアーダクト、送風ファン及びケミカルフィルターを通過して供給され、外部に対して正圧に保持された高清浄なクリーンゾーン、上記クリーンゾーンの壁面の一部に設けられ、上記カセットの出し入れを行う開閉可能な開口部、上記クリーンゾーン内に設置され、主に半導体製造装置のローダ/アンローダ部との間で上記カセットの受け渡しを行う移載ロボット、上記タンク、上記クリーンゾーン及び上記移載ロボットを搭載し、走行用の制御機器及び駆動手段が設置された無人搬送車を備えたことを特徴とするカセット搬送装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B08B 5/00
, B65G 49/00
, H01L 21/02
H01L 21/68 A
, B08B 5/00
, B65G 49/00 A
, H01L 21/02
