特許

J-GLOBAL ID：200903029310545930

超狭帯域化フッ素レーザ装置

発明者： 武久 究 ,  塩 耕史
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 木村 高久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-270570
公開番号（公開出願番号）：特開2001-094185
出願日： 1999年09月24日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】 ダメージの生じ難い光学素子を用いてレーザ共振器を構成することにより、1ラインのみで発振し、しかもそのラインの波長幅を約0.2pm程度に狭帯域化することができる超狭帯域化フッ素レーザ装置を提供する。【解決手段】 全反射鏡10と出力鏡エタロン11とでレーザ共振器が構成されている。頂角αが33度のノーコートプリズム13a、13bを2個用いた出力鏡エタロン11は、ノーコートプリズム13aへのレーザ光の入射角がブリュースタ角となるように配置されているので、157.6299nmの波長の発振線のみで発振させることができる。出力鏡エタロン11は、2個のノーコートプリズム13a、13b間の平行なギャップによってエタロンの機能を有すると共に、出力鏡としての機能も有する。

請求項（抜粋）：

フッ素レーザのレーザ光を発振するレーザチャンバを備え、該レーザチャンバからのレーザ光を狭帯域化して、露光装置へ露光光源として供給する超狭帯域化フッ素レーザ装置において、前記フッ素レーザにおける波長と光強度の異なる2つの発振線のうちの予め設定される波長の発振線を有するレーザ光を出射させるべく、頂角が所定の角度を有するウエッジ板であって、且つ反射膜のコーティング処理が施されていない少なくとも2つのプリズムで形成されたエタロンを備え、前記エタロンが出力鏡として前記レーザチャンバの出力側に配置されていることを特徴とする超狭帯域化フッ素レーザ装置。

IPC (5件)：

H01S 3/137 ,  G02B 5/04 ,  G02B 5/28 ,  H01L 21/027 ,  H01S 3/223

FI (6件)：

H01S 3/137 ,  G02B 5/04 C ,  G02B 5/28 ,  H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 527 ,  H01S 3/223 Z

Fターム (27件)：

2H042CA07 ,  2H042CA17 ,  2H048GA07 ,  2H048GA13 ,  2H048GA24 ,  2H048GA48 ,  2H048GA61 ,  2H048GA66 ,  5F046BA04 ,  5F046CA03 ,  5F046CA07 ,  5F046CB02 ,  5F046CB10 ,  5F046CB22 ,  5F071AA04 ,  5F071DD05 ,  5F071FF08 ,  5F071JJ10 ,  5F072AA04 ,  5F072FF08 ,  5F072FF09 ,  5F072JJ13 ,  5F072KK06 ,  5F072KK08 ,  5F072KK26 ,  5F072KK30 ,  5F072YY09