特許
J-GLOBAL ID:200903029314634342
切割研磨シートとその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴木 征四郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-263247
公開番号(公開出願番号):特開2006-095680
出願日: 2005年09月12日
公開日(公表日): 2006年04月13日
要約:
【課題】 本発明は、研磨粒の固結強度が高い、固結層の厚さが小さい、耐用寿命が長い、切割研磨シートを提供する。【解決手段】 少なくとも一層の固結層と一層の研磨粒が含有され、研磨粒が、固結層の中に固結され、各研磨粒により形成された研磨面は、水平にある同一な面である。その製造方法として、(l)基材上に研磨粒を散在し、(2)基材の上に、研磨粒を基材の上に固結するための基礎層を形成し、(3)基礎層の上に固結層を形成し、当該固結層の上に、更に、少なくとも一層の固結層と一層の研磨粒を形成し、そして、(4)基材を除去する。本発明によれば、当該切割研磨シートの研磨粒の分布が均一で、整然且つ同一平面になる研磨面が得られ、研磨の精度や効率が、大幅に向上される。当該切割研磨シートの研磨粒の稜辺や稜角が外且つ上へ向かうため、切割研磨の効率が向上される。また、製造方法が簡単的且つ実用的である。【選択図】図1
請求項(抜粋):
固結層と研磨粒とがあって、当該研磨粒が固結層に固結され、
各研磨粒が形成した研磨面が、水平にある同一な面である、ことを特徴とする切割研磨シート。
IPC (2件):
FI (5件):
B24D11/00 B
, B24D11/00 Q
, B24D3/00 310B
, B24D3/00 310D
, B24D3/00 330G
Fターム (13件):
3C063AA03
, 3C063AB07
, 3C063BA34
, 3C063BA37
, 3C063BB02
, 3C063BB18
, 3C063BB24
, 3C063BG08
, 3C063BH18
, 3C063BH20
, 3C063CC09
, 3C063CC12
, 3C063FF22
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