特許
J-GLOBAL ID：200903029317846006
ウエハシート引伸し装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
塩川 修治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-043336
公開番号（公開出願番号）：特開平7-231003
出願日： 1994年02月18日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：
【要約】【目的】 ウエハシートを均一に引き伸ばして、ペレット間の隙間を最適に確保できるようにすること。【構成】 ウエハ11が貼着されたウエハシート12をエキスパンドリング17の先端17Aに載置させ、ウエハシートを保持したウエハリング13をプレスリング19にて押し下げて、エキスパンドリングによりウエハシートを引き伸ばすウエハシート引伸し装置10において、エキスパンドリングの先端に空気流出口23が形成されて、ウエハシートとエキスパンドリングの先端との間に空気層26を形成可能としたものである。
請求項（抜粋）：
エキスパンド台にエキスパンドリングが形成され、このエキスパンドリングの外周にプレスリングが、上記エキスパンドリングの軸方向に相対移動可能に配設され、ウエハが貼着されたウエハシートを上記エキスパンドリングの先端に載置させ、上記プレスリングと上記エキスパンドリングの相対移動により上記ウエハシートを引き伸ばすウエハシート引伸し装置において、上記エキスパンドリングの先端に流体流出部が形成されて、上記ウエハシートと上記エキスパンドリングの先端との間に流体層を形成可能としたことを特徴とするウエハシート引伸し装置。
IPC (2件)：
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