特許
J-GLOBAL ID：200903029321581076
位置合わせ方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-359551
公開番号（公開出願番号）：特開平6-204117
出願日： 1992年12月25日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：
【要約】【目的】 ウエハとマスクのアライメントマークの画像によって検出できる位置ずれ量を増大させて観察光学系によるプリアライメントを省略する。【構成】 マスクMの一対の微小領域にそれぞれ設けられた左右のxアライメントマークMax,Mbxは、それぞれ微小領域の中心を挟んだ一対のx直線パターンMa1,Ma2,Mb1,Mb2からなり、ウエハWの一対の微小領域にそれぞれ設けられた左右のxアライメントマークWax,Wbxは、微小領域の中心からそれぞれ逆の方向へずれた一本のx直線パターンWa1,Wb1からなる。ウエハWとマスクMのx方向の位置合わせは、観察光学系E1 のTV画面においてウエハWとマスクMの各x直線パターンを観察しながら、ウエハWとマスクMを相対的に移動させて、それぞれの微小領域の中心を一致させることによって行われる。
請求項（抜粋）：
ウエハの一対の所定の微小領域とマスクの一対の所定の微小領域を、各微小領域に設けられたアライメントマークに基づいて相対的に位置決めすることにより、前記ウエハと前記マスクの位置合わせを行う位置合わせ方法であって、前記マスクの各微小領域のアライメントマークが、該微小領域の中心を挟んだ一対のパターンからなり、前記ウエハの一方の微小領域のアライメントマークが、該微小領域の中心から一方向へ離間した1個のパターンからなり、前記ウエハの他方の微小領域のアライメントマークが、該微小領域の中心から前記と逆の方向へ離間した1個のパターンからなることを特徴とする位置合わせ方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 9/00
, H01L 21/68
