特許

J-GLOBAL ID：200903029323519580

リニアモータ及びこれを用いたステージ装置や露光装置

発明者： 鎌田 重人
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-116224
公開番号（公開出願番号）：特開平9-308218
出願日： 1996年05月10日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】 低コスト且つ高駆動力でありながら推力リップルの小さい優れたリニアモータ装置を提供すること。【解決手段】 永久磁石とコイルとが相対移動する構成のリニアモータにおいて、複数の永久磁石を極性方向を90度ずつ回転させながら移動方向に沿って配列し正弦波形磁界を発生させる構成を備えたことを特徴とする。永久磁石は単純な直方体形状であり、コイルは多相コイルの2つ以上のコイルに同時に通電する。

請求項（抜粋）：

永久磁石とコイルとが相対移動する構成のリニアモータにおいて、複数の永久磁石を極性方向を90度ずつ回転させながら移動方向に沿って配列し正弦波形磁界を発生させる構成を備えたことを特徴とするリニアモータ。

IPC (3件)：

H02K 41/03 ,  B65G 54/02 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H02K 41/03 A ,  B65G 54/02 ,  H01L 21/68 K

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 磁気回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-212218   出願人：日立金属株式会社
• 磁気回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-212219   出願人：日立金属株式会社