特許
J-GLOBAL ID：200903029342283490
表面弾性波素子及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-052824
公開番号（公開出願番号）：特開平10-270978
出願日： 1998年02月18日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：
【要約】【課題】 圧電層の特性を向上させることができ、これにより、優れた音響特性を有する表面弾性波素子を容易に得ることができる表面弾性波素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】 基板2上に表面弾性波を伝播するダイヤモンド層1が形成されており、このダイヤモンド層1上には櫛形トランスデューサ電極4が形成されている。そして、ダイヤモンド層1とトランスデューサ電極4を覆うように、極めて薄い厚さのSiO2からなる中間層3が形成されており、この中間層3上に圧電層5が形成されている。
請求項（抜粋）：
基板と、前記基板上に形成され表面弾性波を伝播するダイヤモンド層と、このダイヤモンド層上に形成され表面弾性波を発生する圧電層と、を有する表面弾性波素子において、前記ダイヤモンド層と前記圧電層との間に形成されダイヤモンド以外の材料からなる第1中間層を有することを特徴とする表面弾性波素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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