特許

J-GLOBAL ID：200903029348463709

液状樹脂組成物用吐出装置

発明者： 大久保 光 ,  村山 竜一 ,  松田 豊
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-065876
公開番号（公開出願番号）：特開平9-308855
出願日： 1996年03月22日
公開日（公表日）： 1997年12月02日
要約：

【要約】【課題】 ディスペンス方式による塗布工程において吐出条件の変更無しに定量塗布可能な液状樹脂組成物用吐出装置を提供すること。【解決手段】 シリンジに注入された液状樹脂組成物を空気圧により塗布する吐出装置において、吐出圧力制御部からシリンジまでの部分の体積(A)と使用するシリンジの体積(B)の比A/Bが5以上である液状樹脂組成物用吐出装置。

請求項（抜粋）：

シリンジに注入された液状樹脂組成物を空気圧により塗布する吐出装置において、吐出圧力制御部からシリンジまでの部分の体積(A)と使用するシリンジの体積(B)の比A/Bが5以上であることを特徴とする液状樹脂組成物用吐出装置。

IPC (3件)：

B05C 5/00 101 ,  B05C 11/00 ,  H01L 21/52

FI (3件)：

B05C 5/00 101 ,  B05C 11/00 ,  H01L 21/52 G