特許
J-GLOBAL ID：200903029356494311
粒子光学機械
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-108299
公開番号（公開出願番号）：特開平7-094299
出願日： 1994年05月23日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：
【要約】【目的】 エネルギーフィルタを分光器と同様に結像フィルタとして適させることが本発明の目的である。【構成】 電子顕微鏡用の2対の扇形磁石1,2,3,4を具えている(Ω型)結像対称フィルタである。もっと離れた2対の扇形磁石1と4及び2と3を配設することにより二次色収差が補正される。これが補正6極磁界を発生するためのコイルの適切な配設を可能にするので、色誤差がまさしく完全に除去される。更にその上、三次アパーチュアー収差の補正も8極コイルとしても対称な面内に6極コイル9を構成することにより可能である。更にこの三次収差の補正は第1扇形磁石1の入口に直接8極磁界の補正コイル5を適用し、第4扇形磁石4の出口に直接8極磁界の補正コイル13を適用することにより達成される。
請求項（抜粋）：
粒子光学機械であって、機械の光軸(22)に沿って動く充電された粒子を作り出すための粒子源と、光軸(34)を有するエネルギーフィルタ(28)とを具えて、該光軸の最初の位置と終端位置とがこの機械の光軸(22)と一致し、前記エネルギーフィルタ(28)が、- 順次に、第1扇形磁石(1)と第2扇形磁石(2)との間の距離(L1 )は第3扇形磁石(3)と第4扇形磁石(4)との間の距離に等しく、光軸(34)は主として前記扇形磁石内の曲率半径(R0 )を有する円である、第1扇形磁石(1)、第2扇形磁石(2)、第3扇形磁石(3)及び第4扇形磁石(4)と、- 第1扇形磁石と第2扇形磁石との間に6極磁界を発生するための第1補正磁石(8)、及び第3扇形磁石と第4扇形磁石との間に6極磁界を発生するための第2補正磁石(10)と、を具えている粒子光学機械において、- 第1扇形磁石と第2扇形磁石との間及び第3扇形磁石と第4扇形磁石との間の距離(L1 )が軸線の曲率半径(R0 )の1.9 倍より大きいことを特徴とする粒子光学機械。
IPC (3件)：
H05H 7/04
, G21K 1/093
, H01J 37/05
