特許

J-GLOBAL ID：200903029364597510

クリーン自動倉庫のフィルタ保護ステー

発明者： 細田 力
出願人/特許権者： 宮城沖電気株式会社 ,  沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 敏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-215520
公開番号（公開出願番号）：特開2000-044013
出願日： 1998年07月30日
公開日（公表日）： 2000年02月15日
要約：

【要約】【課題】 半導体ウエハプロセス製造工程で使用される製品一時保管用のクリーン自動倉庫の内部清浄化用ウルパフィルタの損傷を防止するフィルタ保護ステーを提供する。【解決手段】 本発明は上記自動倉庫において、中空丸棒材を用い、その外径は25φ程度とするステンレス材から成るフィルタ保護ステー12を水平に向け、その両端にてブロック13を介してボルト17で締結し、奥壁14に固定することにより、微粒子濾過フィルタ3の損傷を防止する。

請求項（抜粋）：

半導体ウエハプロセス製造工程で使用される製品一時保管用クリーン自動倉庫本体において、断面形状が円形又は流線形の中空棒から成るフィルタ保護ステーを、前記自動倉庫本体の奥壁に固定することを特徴とするクリーン自動倉庫のフィルタ保護ステー。

IPC (2件)：

B65G 1/00 521 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

B65G 1/00 521 D ,  H01L 21/68 T

Fターム (10件)：

3F022AA08 ,  3F022BB08 ,  3F022CC02 ,  3F022EE05 ,  3F022FF01 ,  3F022KK20 ,  5F031BB05 ,  5F031CC13 ,  5F031LL01 ,  5F031LL07