特許

J-GLOBAL ID：200903029365011390

CCD映像素子

発明者： サン・ホ・ムン
出願人/特許権者： エルジイ・セミコン・カンパニイ・リミテッド
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-149038
公開番号（公開出願番号）：特開平10-065139
出願日： 1997年06月06日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】【課題】 CST層によって発生する周辺領域のポテンシャル変化を最小化して電荷転送効率を向上させたCCD映像素子を提供すること。【解決手段】 光検出器どうしが隣接する間のCST層及び光検出器と前記電荷転送領域との間のCST層が交差する部分の一部にCST層のドーピング濃度を減少させるたCSTドーピング濃度減少領域を少なくとも一つ以上設けた。

請求項（抜粋）：

第1導電型基板の表面内に行と列方向に規則的に配列されて形成された複数の光検出器と、前記複数個の光検出器の列方向の間に形成された第2導電型の複数の電荷転送領域と、前記光検出器どうしの間及び光検出器と電荷転送領域の間にそれぞれを互いに電気的に絶縁させるために、基板の表面部に形成されたチャネルストップ層とを備え、光検出器どうしが隣接する間のチャネルストップ層及び光検出器と前記電荷転送領域との間のチャネルストップ層が交差する部分の一部にチャネルストップ層のドーピング濃度を減少させるたCSTドーピング濃度減少領域を少なくとも一つ以上有することを特徴とするCCD映像素子。