特許
J-GLOBAL ID：200903029369515970
気相化学反応装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-268433
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120143
出願日： 1992年10月07日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】気相化学反応装置の稼働率を向上させる。【構成】気相化学反応装置を排気する際にはシャワー・ヘッド部2はシャワー・ヘッド排気バルブ51を開いて混合室22内のガスを主として排気配管5にて排気を行う。これにより排気の過程を長引かせていたシャワー・ヘッド部2の排気が速やかに行われる。
請求項（抜粋）：
真空容器と、前記真空容器内に配置されたサセプタと、前記サセプタを加熱する加熱機構と、前記サセプタ上に配置されたウェハと、ウェハに化学反応を発生させるための反応ガスを供給するためのシャワー・ヘッドと、前記シャワー・ヘッドに反応ガスを供給するためのガス供給部と、前記ガス供給部と前記シャワー・ヘッドを連結するためのガス供給配管と、前記真空容器内のガスを排気するための真空排気部と、前記真空容器と前記真空排気部とを連結する真空排気配管と、前記真空容器の圧力を調整するための圧力調整バルブと、前記真空容器で消費されなかった反応ガスを処理するためのガス処理部と、前記ガス処理部と前記真空排気部を連結するガス処理配管とからなる気相化学反応装置において、前記シャワー・ヘッド内の気体を排気するためのシャワー・ヘッド排気機構を設けたことを特徴とする気相化学反応装置。
引用特許：
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