特許

J-GLOBAL ID：200903029372558648

板状体洗浄方法および板状体洗浄装置

発明者： 柴田 元
出願人/特許権者： 柴田 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-188482
公開番号（公開出願番号）：特開2001-327935
出願日： 2000年05月19日
公開日（公表日）： 2001年11月27日
要約：

【要約】【課題】 板状体に付着した有機物やパーティクル等の汚れを洗浄剤や多量の純水を使用することなく、短時間に除去することのできる板状体洗浄方法および板状体洗浄装置を提供する。【解決手段】 板状体洗浄装置は、搬送ローラ2によって搬送される板状体1に、超音波振動が付与されたアルカリイオン水を供給する超音波イオン水供給部5を有する。

請求項（抜粋）：

水を電気分解して得られるアルカリイオン水に超音波振動を付与して板状体に供給することを特徴とする板状体洗浄方法。

IPC (5件)：

B08B 3/08 ,  B08B 3/12 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/304 643 ,  H01L 21/304

FI (5件)：

B08B 3/08 Z ,  B08B 3/12 Z ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/304 643 D ,  H01L 21/304 643 B

Fターム (13件)：

2H088FA21 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  3B201AA02 ,  3B201AB14 ,  3B201BB62 ,  3B201BB85 ,  3B201BB89 ,  3B201BB92 ,  3B201BB93 ,  3B201CC01 ,  3B201CC12