特許
J-GLOBAL ID：200903029379767030
大型ガラス基板のハンドリング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-225695
公開番号（公開出願番号）：特開平11-059894
出願日： 1997年08月07日
公開日（公表日）： 1999年03月02日
要約：
【要約】【課題】 大型ガラス基板の湾曲矯正と位置決めとを正しく行い、その状態を維持して検査光学系まで搬送する。【解決手段】 ハンドリング装置10は、基板1を載置台34に載置して検査光学系6まで移動する基板載置移動機構3と、基板1をロボットハンドR・Hより受け取ってX,Y方向に位置決めする位置決め機構4、および基板1の湾曲を平坦に矯正して載置台34に載置する湾曲矯正機構5とにより構成される。
請求項（抜粋）：
LCD用大型ガラス基板の欠陥検査装置に対するハンドリングにおいて、メインベースに設けたX方向のガイドレールの沿って、その始端から欠陥検査光学系を経て終端まで移動するサブベースと、該サブベース上に固定され、該基板に対する載置台よりなる基板載置移動機構、Y方向の両端が支持板により該メインベースの前記始端の位置に固定され、該始端に停止した該載置台の上部に設けられ、ロボットハンドにより供給される該基板を受け取ってX,Y方向に位置決めする位置決め機構、および該載置台の下部に設けられ、昇降機構によりより昇降する複数の押上ピンを有し、該各押上ピンを上昇して該位置決め機構上の基板の下面に当接して湾曲を平坦に矯正し、下降して該基板を該載置台に載置する湾曲矯正機構とにより構成され、該載置台を前記サブベースとともにX方向に移動して、該基板を湾曲矯正と位置決めとがなされた状態で、前記欠陥検査光学系まで搬送することを特徴とする、大型ガラス基板のハンドリング装置。
IPC (4件)：
B65G 49/06
, G01N 21/88
, G02F 1/13 101
, G09F 9/35 302
B65G 49/06 Z
, G01N 21/88 D
, G02F 1/13 101
, G09F 9/35 302
