特許

J-GLOBAL ID：200903029383493165

走査型露光装置及び走査露光方法

発明者： 橋本 武夫
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 開口 宗昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-109506
公開番号（公開出願番号）：特開2000-299279
出願日： 1999年04月16日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：

【要約】【課題】 本発明は,光源からの光の走査方向と直交する非走査方向でのパターン寸法のばらつきを低減させ,半導体回路製品の歩留りを向上することができる走査型露光装置及び走査露光方法を提供することを目的とする。【解決手段】 光源からの光の走査方向と直交する非走査方向に光の透過率が変化せしめられ,光源からの光の走査方向に光の透過率が一定値にされる光学フィルターをレチクル面への光の入射側の所定の位置に設けられて成ることによる。

請求項（抜粋）：

光源からの光の走査方向と直交する非走査方向に光の透過率が変化せしめられ,光源からの光の走査方向に光の透過率が一定値にされる光学フィルターをレチクル面への光の入射側の所定の位置に設けられて成ることを特徴とする走査型露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 518 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 516 D

Fターム (11件)：

5F046BA05 ,  5F046CA02 ,  5F046CA04 ,  5F046CB08 ,  5F046CB12 ,  5F046CB13 ,  5F046CB23 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC13 ,  5F046DA02