特許

J-GLOBAL ID：200903029383778666

シリコン空間光変調器

発明者： ベネディクト・ビー・オブライエン ,  ブレント・イー・バーンズ ,  キング・エル・ヒュー ,  エイドリアン・シー・イオネスク
出願人/特許権者： ノースロップ・コーポレーション
代理人 (1件)： 守谷 一雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-198602
公開番号（公開出願番号）：特開平5-257070
出願日： 1992年07月24日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：

【要約】【構成】 空間光変調器は、絶縁層を有するシリコンバックプレート11と、バックプレート上にデポジットされた絶縁材料からなり、セルアレイを規定する離隔グリッド14とから構成される。電極が各セルにおいてバックプレート上にデポジットされている。ドープされたシリコンの薄膜(ダイアフラム)18が離隔グリッド14に装着されセルアレイと電極の上方にある。ミラー20が膜の上に置かれセルアレイの上方に反射ピクセルアレイを形成する。各セルにおいて、ダイヤフラムが偏向したときにセルからガスを排気するためのベントホール21がバックプレートの電極側からその反対側へ形成されており、セル全体にわたって形成された溝とともにセルからガスを排気するのを助けている。【効果】 電極を選択的に帯電させるとセルの上方の膜の部分は膜と電極の間の静電吸引力により偏向される。全体としてピクセルのアレイによりパターンが想定され、これは電極上に配置された電気信号の状態に対応する。

請求項（抜粋）：

内部に絶縁層を有するシリコンバックプレートと、前記バックプレート上にデポジットされた絶縁材料からなり、セルアレイを形成し、その領域を囲み且つその上に第2の層を形成している離隔グリッドと、複数の電極であって、それぞれの電極が前記セルの1つの中で前記バックプレート上にデポジットされている電極と、前記離隔グリッドに装着され前記セルアレイと電極の上方にあるドープされたシリコンの膜と、前記膜上の前記バックプレートに対向しない側上にミラー表面を形成する手段から成る空間光変調器。