磁場顕微鏡装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-013573
公開番号（公開出願番号）：特開平5-119130
出願日： 1991年02月04日
公開日（公表日）： 1993年05月18日
要約：

【要約】【目的】被測定物体の磁場によって変化する磁性膜の磁区模様を顕微鏡で見たような像として観察して被測定物体の磁場のパターンを把握する。【構成】磁性膜5を備えた対物部2と撮像素子9とをズームレンズ部10を介して接続した顕微鏡本体1に、光ファイバ30および電気ケーブルを介して光源41と撮像制御部44を接続し、磁性膜5の磁区模様をズームレンズ部10を介して撮像素子9で撮像して、この撮像した磁区模様を撮像制御部44を介してモニタディスプレイ50に表示する。

請求項（抜粋）：

物体の磁場を測定する磁場顕微鏡装置であって、被測定物体との対向面に迷路状の磁区をもち外部磁界によって磁区模様が変化する磁性膜を設けこの磁性膜の外面に反射膜を設けた対物部と、前記磁性膜の磁区模様を撮像する撮像素子を備えた撮像部と、外部から導入した光を偏光子を通して前記磁性膜にその内面側から入射させる導光部とを備え、かつ前記対物部と前記撮像部とをズームレンズ部を介して接続するとともに、このズームレンズ部の一端に、前記導光部から前記磁性膜に入射されその外面の前記反射膜で反射された光を前記磁性膜の磁区模様に対応する像光とする検光子を設けた磁場顕微鏡本体と、この顕微鏡本体の導光部に光ファイバを介して接続された光源と、前記顕微鏡本体の撮像部に電気ケーブルを介して接続された撮像制御部と、前記顕微鏡本体で撮像した磁区模様を表示するモニタディスプレイと、からなることを特徴とする磁場顕微鏡装置。

IPC (3件)：

G01R 33/032 , G01R 33/12 , G02B 21/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭64-091075
特開平2-040579
特開平2-196208

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