傾斜センサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：竹内進 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-310629
公開番号（公開出願番号）：特開平5-141969
出願日： 1991年11月26日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：

【要約】【目的】SAW技術を利用して微小な傾斜角を高精度で検出する傾斜センサに関し、温度ドリフトを抑えて計測精度を飛躍的に向上することを目的とする。【構成】カンチレバーを構成する圧電基板の両面に設けるSAW共振器の電極パターンとして、一方のパターンに対し他方のパターンを例えばK=0.9996といった倍率の相似パターンとすることで、発振周波数を異ならせるために反射器間距離Lcが変っても、2つのSAW共振器の構成比(Lc /δ)を同じにすることができ、構成比(Lc /δ)が同じであれば頂点温度も同じになるために、頂点温度差ΔTを零もしくはごく小さな値として温度依存性を除去する。更に、構成比(Lc /δ)を変えても頂点温度の変化が少ない範囲に設定し、製造時の寸法のバラツキによる頂点温度の変化を最小限に抑える。15:バンドパスフィルタ(BPF)

請求項（抜粋）：

一端を固定し他端をフリーにして重りを装着した水晶基板で作られたカンチレバーと、該カンチレバーの表裏両面に各々形成された共振周波数の異なる一対のSAW共振器と、該SAW共振器の出力を正帰還して前記共振周波数に一致する周波数(f1 ,f2 )の信号を発振する一対のSAW発振器と、該一対のSAW発振器の発振信号の周波数差(F)を検出する混合器と、該混合器から出力された周波数差(F)に基づいて前記カンチレバーの鉛直軸に対する傾斜角θを検出する傾斜センサに於いて、前記一対のSAW共振器は、前記水晶基板上に送信電極アレイ及び受信電極アレイを配列すると共に該送信電極及び受信電極の外側に反射器アレイを形成した構造を有し、一方のSAW共振における反射器間距離(Lc1)、反射器内有効距離(δ1 )及びアレイピッチ(d1 )に対し他方のSAW共振器における反射器間距離(Lc2)、反射器内有効距離(δ2 )及びアレイピッチ(d2 )を規定の周波数差(F)が得られる寸法比(K)をもつ相似パターンとし、一対のSAW共振器間の頂点温度(T10,T20)の差(ΔT)を零又は最小に抑えたことを特徴とする傾斜センサ。

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