特許

J-GLOBAL ID：200903029404664453

光ファイバ-支持装置及び半導体装置の製造装置

発明者： 江利口 浩二
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 前田 弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-001160
公開番号（公開出願番号）：特開2000-199832
出願日： 1999年01月06日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：

【要約】【課題】 簡便で集光能力の高いモニタリング用の光ファイバー支持装置及びこれを備えた半導体装置の製造装置を提供する。【解決手段】 光ファイバー支持装置A1は、光学レンズ3,4を収納するレンズホルダー1と、光ファイバーFの端部を保持するためのファイバーカップラー6を先端に設けてなる光ファイバー固定部5とを備えている。光ファイバー固定部5の外側の円筒面には、レンズホルダー1の内側の円筒面に形成された雄ネジに係合するネジ溝9が形成されている。レンズホルダー1と光ファイバー固定部5とを相対的に回転させることにより、光学レンズ3,4の光軸と光ファイバーFの中心とを一致させながら、光学レンズ4の焦点位置を光ファイバーFの端面に一致させることが可能に構成されている。この光ファイバー支持装置A1を利用して、インラインでの光学的観測を行うことができる。

請求項（抜粋）：

円筒面の少なくとも一部にネジが形成された円筒状ホルダーと、上記円筒状ホルダーの内部に収納された少なくとも1つの光学レンズと、円筒面の少なくとも一部に形成された上記円筒状ホルダーのネジと係合するネジと光ファイバーの端部を固定する機能とを有する円筒状支持部材とを備え、上記円筒状ホルダーと上記円筒状支持部材とを相対的に回転させることにより上記光学レンズの焦点位置を上記光ファイバーの端面に一致させることが可能に構成されていることを特徴とする光ファイバー支持装置。

IPC (4件)：

G02B 6/32 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/31

FI (4件)：

G02B 6/32 ,  C23F 4/00 F ,  H01L 21/31 B ,  H01L 21/302 E

Fターム (30件)：

2H037AA04 ,  2H037CA21 ,  2H037DA04 ,  2H037DA05 ,  2H037DA06 ,  4K057DA20 ,  4K057DB06 ,  4K057DD03 ,  4K057DE01 ,  4K057DE11 ,  4K057DJ02 ,  4K057DJ03 ,  4K057DJ07 ,  4K057DM02 ,  4K057DM03 ,  4K057DN01 ,  5F004AA16 ,  5F004BA04 ,  5F004BA09 ,  5F004CA06 ,  5F004CB02 ,  5F004DA00 ,  5F004DA04 ,  5F045DP01 ,  5F045DP02 ,  5F045DQ10 ,  5F045EH13 ,  5F045EH14 ,  5F045GB08 ,  5F045GB10

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特公平4-044147