3次元形状測定機及びその誤差校正方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大塚康徳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-028331
公開番号（公開出願番号）：特開2003-227713
出願日： 2002年02月05日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：

【要約】【課題】円筒座標系を採用した3次元形状測定機の軸位置関係に起因する測定誤差を除去する。【解決手段】2つの直進軸であるR軸及びZ軸と1つの回転軸であるθ軸とから構成される円筒座標系を用いて被測定物の3次元形状を測定する3次元形状測定機に用いられる、3次元形状測定機の誤差校正方法であって、仮想して定義された円筒座標系の各軸の軸位置関係と3次元形状測定機の円筒座標系の各軸の軸位置関係とのズレ量を検出するズレ量検出工程と、3次元形状測定機の測定結果を、仮想して定義された軸位置関係における測定結果へ変換させるための校正値をズレ量から算出する校正値算出工程と、3次元形状測定機で測定した被測定物の測定結果を校正値算出工程で算出した校正値を用いて校正する校正工程とを具備する。

請求項（抜粋）：

2つの直進軸であるR軸及びZ軸と1つの回転軸であるθ軸とから構成される円筒座標系を用いて被測定物の3次元形状を測定する3次元形状測定機に用いられる、3次元形状測定機の誤差校正方法であって、仮想して定義された円筒座標系の各軸の軸位置関係と3次元形状測定機の円筒座標系の各軸の軸位置関係とのズレ量を検出するズレ量検出工程と、3次元形状測定機の測定結果を、前記仮想して定義された軸位置関係における測定結果へ変換させるための校正値を前記ズレ量から算出する校正値算出工程と、3次元形状測定機で測定した被測定物の測定結果を前記校正値算出工程で算出した校正値を用いて校正する校正工程とを具備することを特徴とする3次元形状測定機の誤差校正方法。

Fターム (7件)：

2F069AA66 , 2F069BB40 , 2F069FF07 , 2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069JJ04 , 2F069NN17

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