特許
J-GLOBAL ID:200903029410915123

基板上にパターン化されたカーボンナノチューブを形成する方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-383275
公開番号(公開出願番号):特開2003-183012
出願日: 2001年12月17日
公開日(公表日): 2003年07月03日
要約:
【要約】【課題】 大面積や曲面などに対してもサブミクロから数ミリまでの任意の大きさのパターニングが可能であり、しかも面倒なエッチング処理や原版を必要とせず、非接触方式で耐摩耗性に優れ、大量生産に適した工業的に有利なカーボンナノチューブのパターニング方法を提供する【解決手段】基板上に予め触媒を配列させ、該触媒配列箇所でカーボンナノチューブの形成・合成反応を行う
請求項(抜粋):
基板上にパターン化されたカーボンナノチューブを形成する方法において、予め基板上にカーボンナノチューブ合成用触媒を配列させ、該触媒配列箇所でカーボンナノチューブの形成反応を行うことを特徴とする基板上にパターン化されたカーボンナノチューブを形成する方法。
Fターム (6件):
4G046CA02 ,  4G046CB01 ,  4G046CC02 ,  4G046CC03 ,  4G046CC05 ,  4G046CC08
引用特許:
審査官引用 (1件)

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