特許
J-GLOBAL ID:200903029413685480

光モジュールの光軸調整方法,光モジュール製造方法,光モジュール評価方法および光モジュール調整/評価装置ならびに受光素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 村山 光威
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-088738
公開番号(公開出願番号):特開2001-166186
出願日: 2000年03月28日
公開日(公表日): 2001年06月22日
要約:
【要約】【課題】 光ファイバの光軸の位置ずれの方向と大きさを把握することを可能にし、光結合される光ファイバと受光素子との相対的位置決めに要する作業時間を少なくして製造コストの低減化を図る。【解決手段】 光軸調整を含む光モジュールの製造にあたり、光結合される光ファイバ1と受光素子2の上方に設置した赤外線カメラ5により、受光素子2の受光部4と光ファイバ1より出射する光のビームスポットを撮像し、受光部4とビームスポットの位置が合致するように、光ファイバ1の光軸を移動させることにより、光ファイバ1を受光素子2が実装されている光モジュールの所定位置に位置決めする。
請求項(抜粋):
光ファイバを受光素子に実装した光モジュールにおける前記光ファイバの光軸と前記受光素子の光軸とを合わせるように調整する方法であって、前記受光素子の受光部と調整用ステージに保持された前記光ファイバの出射端より出射する光のビームスポットとを赤外線カメラにより撮像するステップと、撮像された映像をモニタして前記光ファイバのビームスポットと前記受光素子の受光部との位置ずれの方向と大きさに係る情報を得るステップと、前記情報に基づき前記受光部と前記ビームスポットとの位置が合致するように前記調整用ステージを移動させるステップとを備えたことを特徴とする光モジュールの光軸調整方法。
IPC (2件):
G02B 6/42 ,  H01L 31/0232
FI (2件):
G02B 6/42 ,  H01L 31/02 C
Fターム (16件):
2H037AA01 ,  2H037BA11 ,  2H037CA10 ,  2H037DA03 ,  2H037DA04 ,  2H037DA06 ,  2H037DA18 ,  2H037DA22 ,  5F088BA16 ,  5F088BA18 ,  5F088BB01 ,  5F088DA17 ,  5F088JA14 ,  5F088JA20 ,  5F088KA10 ,  5F088LA01

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