特許
J-GLOBAL ID:200903029416669906

真空バルブ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 宮田 金雄 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-089510
公開番号(公開出願番号):特開平9-282986
出願日: 1996年04月11日
公開日(公表日): 1997年10月31日
要約:
【要約】【課題】 大形化ならびにコストが増大して高価になる。【解決手段】 アルミナセラミックで円筒状に形成された絶縁容器11と、この絶縁容器11の両端を閉塞するように気密接合された端板12、13とでなる真空容器20内に、一対の接離可能な電極17、18を備えた真空バルブにおいて、気密接合された部分を囲繞するように配設され導電性部材でなる電界緩和リング21、22と、この電界緩和リング21、22を覆うように配設され絶縁性樹脂部材でなる絶縁テープ23、24と、この絶縁テープ23、24を覆うように絶縁テープ23、24の外表面に塗布して形成された絶縁性樹脂被膜25、26とを備える。
請求項(抜粋):
アルミナセラミックで円筒状に形成された絶縁容器と、この絶縁容器の両端を閉塞するように気密接合された端板とでなる真空容器内に、一対の接離可能な電極を備えた真空バルブにおいて、上記気密接合された部分を囲繞するように配設され導電性部材でなる電界緩和リングと、この電界緩和リングを覆うように配設され絶縁性樹脂部材でなる絶縁テープと、この絶縁テープを覆うように上記絶縁テープの外表面に塗布して形成された絶縁性樹脂被膜とを備えたことを特徴とする真空バルブ。
FI (2件):
H01H 33/66 E ,  H01H 33/66 R
引用特許:
審査官引用 (8件)
  • 特開平3-064817
  • 特開平3-064817
  • 特開昭56-106320
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