特許
J-GLOBAL ID：200903029422281260
位置検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-190503
公開番号（公開出願番号）：特開平6-036989
出願日： 1992年07月17日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：
【要約】【目的】 低段差で構成されたアライメントマークを有する物体の位置検出を高精度に行うこと。【構成】 光源(20)からの照明光は、偏光子(21)、複屈折部材(23)対物レンズ系(24)を通過して、互いに直交する偏光方向の光線oと光線eとになり、物体(W)上のアライメントマーク(AM)に達する。そして、このアライメントマークで反射された光は、対物レンズ系(24)、光分割手段(22)、検光子(25)を通過して光電変換素子(27)上に達し、アライメントマークの微分干渉像を形成する。ここで、光電変換素子上に光線oと光線eとの何れか一方が到達するように、偏光子と検光子とを相対的に回転させると、明視野照明によるアライメントマークの像を検出できる。
請求項（抜粋）：
照明光を供給する光源と、該光源からの照明光を物体に向けて照射するための対物光学系と、前記光源と該対物光学系との間に設けられた光分割手段と、前記対物光学系と該光分割手段とを介した前記物体からの反射光を受光して光電変換する光電変換素子とを有し、該光電変換素子からの出力信号に基づいて前記物体の位置を検出する位置検出装置において、前記照明光を所定の方向で振動する直線偏光の光に変換する偏光子を前記光源と前記光分割手段との間に設けると共に、前記直線偏光の光を第1の方向で振動する第1直線偏光の光と第2の方向で振動する第2直線偏光の光とに分離した状態で前記物体を照明し、かつ前記物体にて反射された前記第1及び第2直線偏光の光を合成する複屈折部材を前記光分割手段と前記物体との間に設け、前記複屈折部材を介して前記合成された光によって、所定の方向に振動する直線偏光の光を抽出する検光子を前記光分割手段と前記光電変換素子との間に配置し、前記第1直線偏光の光と前記第2直線偏光の光との何れか一方を前記光電変換素子へ導くために、前記偏光子と前記検光子との少なくとも一方を回転可能に設けることを特徴とする位置検出装置。
IPC (2件)：
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