特許

J-GLOBAL ID：200903029426497453

動的ビーム方向操作要素を有する干渉計

発明者： ヒル、ヘンリー エイ.
出願人/特許権者： ザイゴ コーポレーション
代理人 (2件)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-568349
公開番号（公開出願番号）：特表2005-517913
出願日： 2003年02月12日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：

干渉計システム100は、基準ビーム156ではなく、測定ビーム152を差し向けるために定置されるビーム方向操作要素110を含む。動作中、制御回路は測定対象154の角度上の向きの変化に応じてビーム方向操作要素110の向きを調整する。ビーム方向操作要素110は、戻り測定ビーム152ではなく、戻り基準ビーム156を差し向けるためにさらに定置され、戻り基準ビーム156はビーム方向操作要素110に接触する。第1の偏光ビーム・スプリッタ130は出力ビーム190を形成するために戻り基準ビーム156と戻り測定ビーム152を再結合する。

請求項（抜粋）：

入力ビームを第1のビームと第2のビームに分離するために定置される第1の偏光ビーム・スプリッタと、 該第2のビームではなく、該第1のビームを差し向けるために定置され、該第1のビームが前記ビーム方向操作要素に接触するビーム方向操作要素と、 該第1および該第2のビームの一方を受光し、測定対象にそのビームを差し向けるために定置され、測定戻りビームを形成するために該ビームを反射する干渉計であって、該干渉計は該第1および該第2のビームの他方を受光し、基準対象に該ビームを差し向けるためにさらに定置され、該干渉計は参照戻りビームを形成するために該ビームを反射する干渉計と、 該ビーム方向操作要素に結合され、動作中に該測定対象の角度上の向きの変化に応じて該ビーム方向操作要素の向きを調整する電子制御回路と、からなり、 該ビーム方向操作要素は、該第1のビームから導出される戻りビームではなく、該第2のビームから導出される戻りビームを差し向けるためにさらに定置され、該第2のビームから導出される該戻りビームは該ビーム方向操作要素に接触し、 該第1の偏光ビーム・スプリッタは出力ビームを形成するために該戻りビームを再結合するために定置される干渉分析システム。

IPC (3件)：

G01B9/02 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

FI (3件)：

G01B9/02 ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/30 516B

Fターム (17件)：

2F064AA01 ,  2F064AA06 ,  2F064BB01 ,  2F064CC01 ,  2F064EE01 ,  2F064GG12 ,  2F064GG13 ,  2F064GG23 ,  2F064GG38 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ05 ,  2H097BA02 ,  2H097LA10 ,  5F046CC13 ,  5F046CC16 ,  5F046CC17 ,  5F046DB05

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 米国特許第5,801,832号
  
• 米国特許第6,271,923号
  
• 米国特許第6,313,918B1号
  
• 米国実用特許出願第10/226,591号