特許
J-GLOBAL ID：200903029439243060
積層型圧電・電歪アクチュエータの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-117475
公開番号（公開出願番号）：特開平6-334236
出願日： 1993年05月20日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：
【要約】【目的】 積層型圧電・電歪アクチュエータに関し、長寿命で信頼性の優れた素子の製造方法を実用化することを目的とする。【構成】 位置合わせ孔を設けた圧電・電歪セラミックグリーンシートに導電ペーストを印刷して後、乾燥する工程と、圧電/電歪セラミックグリーンシートを打ち抜いて単位素子の二倍の寸法位置に内部電極の幅よりも大きな楕円形のスリットを千鳥状に形成する工程と、グリーンシートを面内で交互に180 度向きを変えて積層し、加圧して一体化する工程と、積層体を大気中で加熱して脱脂した後に焼成する工程と、セラミック上の各スリットの縦方向中心線の位置でセラミックを単位素子に切断する工程と、各単位素子の外部電極形成面に非酸化性の金属箔を当接して加熱し、内部電極と融着させて外部電極とする工程と、外部電極にリード線を付けた後に分極処理する工程とから積層型圧電・電歪アクチュエータを製造する。
請求項（抜粋）：
導体ペーストを印刷して内部電極をパターン形成した圧電・電歪セラミックグリーンシートを該内部電極の一端が反対方向に交互に現れるように積層し一体化して焼成した後、前記内部電極が現れている端面を繋ぐ外部電極を設ける圧電アクチュエータの製造方法として、該工程が、位置合わせ孔を設けた圧電・電歪セラミックグリーンシートに導電ペーストを印刷して後、乾燥する工程と、該圧電・電歪セラミックグリーンシートを打ち抜いて単位素子の二倍の寸法位置に内部電極の幅よりも大きな長穴形状のスリットを千鳥状に形成する工程と、該グリーンシートを面内で交互に180 度向きを変えて積層し、加圧して一体化する工程と、該積層体を大気中で加熱して脱脂した後に焼成する工程と、セラミック上の各スリットの縦方向中心線の位置で該セラミックを単位素子に切断する工程と、各単位素子の外部電極形成面に非酸化性の金属箔を当接して加熱し、内部電極と融着させて外部電極とする工程と、該外部電極にリードを付けた後に分極処理する工程と、からなることを特徴とする積層型圧電・電歪アクチュエータの製造方法。
IPC (4件)：
H01L 41/24
, H01L 41/09
, H02N 2/00
, H04R 17/00 330
H01L 41/22 Z
, H01L 41/08 S
