特許
J-GLOBAL ID：200903029442264744
エッチング方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-033030
公開番号（公開出願番号）：特開平6-252095
出願日： 1993年02月23日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：
【要約】【目的】現在大気中へ放出されている多量の未反応ガスを分離し、循環して再使用あるいは回収することによって、装置の運転コストを低減し、除害設備への投資も軽減する。また、エッチングガスの排出のためのポンプへの負担を軽減し、省エネルギー化する。【構成】処理室11から排出されるガスや反応生成物あるいは未反応のまま排出されるガスをフィルターやサイクロン等の分離手段50に導き、エッチングガスと反応生成物とに分離し、さらに、反応生成物をかい離させて、被エッチング材の固形物と元のエッチングガスに別ける。分離されたエッチングガスは、循環・蓄積手段60、流路制御部71を経て処理室11に循環させて再利用する。【効果】高価なエッチングガスを有効に使用できる。
請求項（抜粋）：
処理室にエッチングガスを導入し、該エッチングガスをプラズマ化し、このプラズマによって前記処理室内に置かれた基板のエッチング処理を行なうエッチング方法において、エッチング処理に伴って前記処理室から排出される排ガスを、前記エッチングガスと固形物とに分離し、分離された前記エッチングガスを前記処理室に循環させて、次のエッチング処理に使用することを特徴とするエッチング方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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