特許
J-GLOBAL ID：200903029450220942
熱処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-280086
公開番号（公開出願番号）：特開平6-208954
出願日： 1993年10月13日
公開日（公表日）： 1994年07月26日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 熱処理時に必要な断熱効果を十分に得ることができると共にシール機能を損なうことなく安定した熱処理を行なうことができ、しかもパーティクルの発生を防止して熱処理の歩留りを向上させる。【構成】 本熱処理装置は、複数のウエハWを熱処理用ボート40により保持した状態で一端部が開口した反応容器30内に挿入しこの反応容器30をフランジ45で封止してウエハWに熱処理を施す装置において、熱処理用ボート40の少なくとも一端部を保持すると共に熱処理時に反応容器30内を保温する保温体42と、この保温体42を構成し且つ熱処理時の熱線の透過を防止する熱透過防止基板42Aと、この熱透過防止基板42Aを水平に支持する支持体42Bとを備えて構成されている。
請求項（抜粋）：
複数の被処理体を保持具により保持した状態で一端部が開口した熱処理容器内に挿入し、この熱処理容器を蓋体により封止して上記被処理体に熱処理を施す熱処理装置において、上記保持具の少なくとも一端部を保持すると共に熱処理時に上記熱処理容器内を保温する保温体と、この保温体を構成し且つ熱処理時の熱線の透過を防止する熱透過防止基板と、この熱透過防止基板を水平に支持する支持体とを備えてなることを特徴とする熱処理装置。
引用特許：
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