特許

J-GLOBAL ID：200903029453357302

新規なビスフェノール誘導体

発明者： 浦野 文良 ,  安田 高訓 ,  松田 裕史
出願人/特許権者： 和光純薬工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-273009
公開番号（公開出願番号）：特開平7-101892
出願日： 1993年10月05日
公開日（公表日）： 1995年04月18日
要約：

【要約】【構成】下記一般式〔1〕【化1】[式中、R1は炭素数1〜6の直鎖状、分枝状又は環状のアルキル基を表し、R2は水素原子又はメチル基を表わし、R3及びR4は夫々独立して水素原子又は炭素数1〜5の直鎖状又は分枝状のアルキル基を表し、Xは下記一般式〔2〕【化2】(但し、R5及びR6は夫々独立して水素原子又は炭素数1〜10の直鎖状、分枝状又は環状のアルキル基を表し、又、R5とR6は互いに結合してメチレン鎖を形成していても良い。)で示される基又は-SO2-を表し、Yは単結合、-C(CH3)2COO-又は-CH2COO-を表す。]で示されるビスフェノール誘導体。』【効果】本発明のビスフェノール誘導体は酸の作用で容易に保護基を脱離してフェノール化合物又はカルボン酸化合物に変化する。半導体分野、特に微細加工が要求される半導体素子製造のリソグラフィーでは、この性質を利用して化学増幅型3成分系レジスト材料の溶解阻害剤として使用する事により高解像性能が達成できる。

請求項（抜粋）：

下記一般式〔1〕【化1】[式中、R1は炭素数1〜6の直鎖状、分枝状又は環状のアルキル基を表し、R2は水素原子又はメチル基を表わし、R3及びR4は夫々独立して水素原子又は炭素数1〜5の直鎖状又は分枝状のアルキル基を表し、Xは下記一般式〔2〕【化2】(但し、R5及びR6は夫々独立して水素原子又は炭素数1〜10の直鎖状、分枝状又は環状のアルキル基を表し、又、R5とR6とが互いに結合してメチレン鎖を形成していても良い。)で示される基又は-SO2-を表し、Yは単結合、-C(CH3)2COO-又は-CH2COO-を表す。]で示されるビスフェノール誘導体。

IPC (6件)：

C07C 43/205 ,  C07C 69/708 ,  C07C 69/712 ,  C07C317/22 ,  C07C409/38 ,  G03G 5/06 319