特許

J-GLOBAL ID：200903029457630127

被描画体の搬入装置及び描画システム

発明者： 清水 修一 ,  奥山 隆志
出願人/特許権者： 旭光学工業株式会社
代理人 (1件)： 松浦 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-305623
公開番号（公開出願番号）：特開2000-131852
出願日： 1998年10月27日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：

【要約】【課題】 描画装置に対する被描画体の搬入前にその被描画体の寸法データを検出し、誤った寸法の被描画体への描画パターンの描画を未然に防止する。【解決手段】 搬入装置は感光性の被描画体Pを光ビームで走査させつつ該光ビームを描画データに基づいて変調させることにより該被描画体に所定のパターンを描画する描画装置13に対して被描画体を搬入する。搬入装置は描画装置に搬入すべき被描画体を搭載する搭載手段80と、その上の被描画体の寸法データを検出する寸法データ検出手段(134;138A、138B;140)と、この寸法データ検出手段によって検出された検出寸法データを描画装置に送信する検出寸法データ送信手段と、搭載手段上の被描画体を担持して描画装置に搬送する搬送手段84とを具備する。

請求項（抜粋）：

感光性の被描画体を光ビームで走査させつつ該光ビームを描画データに基づいて変調させることにより該被描画体に所定のパターンを描画する描画装置に対して被描画体を搬入する搬入装置であって、前記描画装置に搬入すべき被描画体を搭載する搭載手段と、前記搭載手段上の被描画体の寸法データを検出する寸法データ検出手段と、前記寸法データ検出手段によって検出された検出寸法データを前記描画装置に送信する検出寸法データ送信手段と、前記搭載手段上の被描画体を担持して前記描画装置に搬送する搬送手段とを具備して成る搬入装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 511 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/18

FI (3件)：

G03F 7/20 511 ,  H05K 3/18 D ,  H01L 21/30 502 J

Fターム (13件)：

2H097CA17 ,  2H097DB03 ,  2H097DB07 ,  2H097DB14 ,  2H097LA03 ,  5E343ER18 ,  5E343FF28 ,  5F046AA06 ,  5F046CA03 ,  5F046CD01 ,  5F046CD06 ,  5F046DB04 ,  5F046DC10