特許
J-GLOBAL ID:200903029461656238
液体分注装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-119770
公開番号(公開出願番号):特開2000-310645
出願日: 1999年04月27日
公開日(公表日): 2000年11月07日
要約:
【要約】【課題】多種の液体物理定数を有する液体に対して、安定して吐出できることを可能とする液体分注装置を提供することである。【解決手段】液体分注装置に於いて、微小変位発生部材としての円筒形状圧電素子25による微小変位が液体に作用される。上記円筒形状圧電素子25の微小変位変化により発生した液体の圧力変化分は、圧力検出部材27によって検出される。そして、上記円筒形状圧電素子25には、微小断面積の吐出口を有するノズル部材26が連結されている。
請求項(抜粋):
液体を微小量に分注する分注装置に於いて、複数の圧電素子を有して該圧電素子による微小変位を液体に作用させる微小変位発生部材と、上記圧電素子の微小変位変化により発生した液体の圧力変化分を検出する圧力検出部材と、上記微小変位発生部材に連結され、微小断面積の吐出口を有するノズル部材と、を具備したことを特徴とする液体分注装置。
IPC (3件):
G01N 35/10
, H01L 41/09
, H01L 41/08
FI (4件):
G01N 35/06 D
, H01L 41/08 M
, H01L 41/08 Z
, H01L 41/08 C
Fターム (6件):
2G058EA11
, 2G058EA14
, 2G058EB00
, 2G058EB01
, 2G058ED14
, 2G058GB10
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