特許
J-GLOBAL ID：200903029464660813
自動ペリクル貼付装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-199710
公開番号（公開出願番号）：特開平5-045866
出願日： 1991年08月09日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：
【要約】【目的】 様々な形状のペリクルフレームについて対応可能な自動ペリクル貼り付け装置を得る。【構成】 レチクルライブラリ100、ペリクルライブラリ101、貼り付け部106、駆動系(109、110、111)を備えた自動ペリクル貼り付け装置に、ペリクルフレーム9bをつめ8bで保持するとともに、ペリクル付フレーム(マスク保護部材)9をカバーする押圧板8dを備えた治具8を複数収納する治具ライブラリ102を設ける。貼り付けされるマスク保護部材9に最も好適な治具8が装着されたマスク保護部材9を貼り付け部106でレチクル1に貼り付ける。その後、治具8を治具ライブラリ102に戻す。これら一連の貼り付け動作はMPU107の統括下で自動で行われる。
請求項（抜粋）：
マスクに塵埃等が付着するのを防止するためにペリクルが張設された枠部材を有するマスク保護部材を前記マスクに自動的に貼付ける装置において、前記マスクの複数個を保管するマスク保管部と;前記マスク保護部材の互いに異なる外形のものを保管する保護部材保管部と;前記互いに異なる外形のマスク保護部材の夫々に対応して予め用意された保持部材の複数個を保管する保持部材保管部と;前記枠部材の外形に対応した前記保持部材を前記保護部材保管部から選択し、該選択された保持部材によって前記マスク保護部材を保持した状態で、前記マスクへ押圧する貼付け機構と;を備えたことを特徴とする自動ペリクル貼付装置。
IPC (4件)：
G03F 1/14
, B29C 65/48
, H01L 21/027
, B29L 31:34
