特許

J-GLOBAL ID：200903029471926250

静電チャック

発明者： 茂木 弘 ,  新井 健一 ,  小嶋 伸次 ,  久保田 芳宏
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-088390
公開番号（公開出願番号）：特開平7-297265
出願日： 1994年04月26日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明は静電吸着力飽和時間と残留吸着力消滅時間とからなる応答特性が短く、効率のよい静電チャックの提供を目的とするものである。【構成】 本発明の静電チャックは、電極の両側を焼結体および/または溶射セラミックスよりなる絶縁性誘電体層で被覆した構造を有する静電チャックにおいて、この絶縁性誘電体層の吸着面側の表面粗さRaを0.25μm以下とすると共に、平面度を20μm以下としてなることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

電極の両側を焼結体および/または溶射セラミックスよりなる絶縁性誘電体層で被覆した構造を有する静電チャックにおいて、この絶縁性誘電体層の吸着面側の表面粗さRaを0.25μm以下とすると共に、平面度を20μm以下としてなることを特徴とする静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00