特許
J-GLOBAL ID：200903029476975836
微小変位、傾き角同時測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
牧 克次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-200053
公開番号（公開出願番号）：特開平5-018712
出願日： 1991年07月15日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：
【要約】【目的】 一本のレーザ光および一個の2次元光位置センサ等から、変位と傾き角とを同時に測定できるようにし、また装置全体を小型に形成し、さらに装置を容易にセットできるようにした。【構成】 レーザ発生器1からの光レーザを、可変光量フィルタ3、第1シリンドリカルレンズ4を介して測定面に当て、その反射レーザを第2シリンドリカルレンズ5、金属フイルタ6を介して光位置センサ7に受光させるようにした。
請求項（抜粋）：
レーザ光発生器と、レーザ光発生器からのレーザ光の通過光量を調節する可変光量フィルタと、測定面の変位による反射光の変化に対してはレンズとして作用するとともに、測定面の傾角の変位による反射光の変化に対しては影響を及ぼさない一対のシリンドリカルレンズと、一対のシリンドリカルレンズからの光の波長を選択して通す金属フィルタと、金属フィルタからのレーザ光の受光位置を検出する2次元光位置センサとを有することを特徴とする微小変位、傾き角同時測定装置。
IPC (3件)：
G01B 11/00
, G01B 11/26
, G01C 3/06
