特許

J-GLOBAL ID：200903029478246157

フォトレジストの露光方法及び装置

発明者： 黒川 光太郎
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-075365
公開番号（公開出願番号）：特開平8-272110
出願日： 1995年03月31日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【構成】 光源1からの光を光変調器2で変調して集光レンズ5で集光した集光ビームを、回転されるフォトレジスト基盤5上のフォトレジスト6の半径方向に送りながら、フォトレジスト6の露光を行う。【効果】 同心円状又は放射状パターンの高速かつ高精度な露光を行うことができる。

請求項（抜粋）：

光源からの出射光を集光した集光ビームをフォトレジストに照射して露光するフォトレジストの露光方法において、上記フォトレジストを回転させて、このフォトレジストの半径方向に集光ビームが所定量重なるように回転同期をとりながら集光ビームを送ることを特徴とするフォトレジストの露光方法。

IPC (7件)：

G03F 9/00 ,  G03F 1/08 ,  G03F 7/20 ,  G11B 7/26 501 ,  G11B 19/247 ,  H01L 21/027 ,  G11B 7/00

FI (7件)：

G03F 9/00 ,  G03F 1/08 A ,  G03F 7/20 ,  G11B 7/26 501 ,  G11B 19/247 R ,  G11B 7/00 K ,  H01L 21/30 529