特許

J-GLOBAL ID：200903029483243174

赤外線検出器

発明者： 宮武 哲也
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-217444
公開番号（公開出願番号）：特開2001-044486
出願日： 1999年07月30日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】【課題】赤外線検出器に関し、2波長域で検出感度を有する簡素な素子構造の赤外線検出器を提供することを目的とする。【解決手段】 多重量子井戸層内での電子のサブバンド間遷移を利用し、2波長域で赤外線を検出する赤外線検出器であって、該多重量子井戸層は、第1の障壁層1、第1の井戸層2、第2の障壁層3、第2の井戸層4、第3の障壁層5及び第3の井戸層6を順に積層したものを単位構造層として該単位構造層を繰り返し積層したものから成り、該第2の井戸層4には不純物がドープされ、該第1の井戸層2及び該第3の井戸層6は該第2の井戸層4より狭く且つ互いに異なる幅を有し、該第2の障壁層3及び該第3の障壁層5は電子の共鳴トンネル現象が起こる程度の幅を有するように構成する。

請求項（抜粋）：

多重量子井戸層内での電子のサブバンド間遷移を利用し、2波長域で赤外線を検出する赤外線検出器であって、該多重量子井戸層は、第1の障壁層、第1の井戸層、第2の障壁層、第2の井戸層、第3の障壁層及び第3の井戸層を順に積層したものを単位構造層として該単位構造層を繰り返し積層したものから成り、該第2の井戸層には不純物がドープされ、該第1の井戸層及び該第3の井戸層は該第2の井戸層より狭く且つ互いに異なる幅を有し、該第2の障壁層及び該第3の障壁層は電子の共鳴トンネル現象が起こる程度の幅を有していることを特徴とする赤外線検出器。

IPC (2件)：

H01L 31/10 ,  H01L 31/0264

FI (2件)：

H01L 31/10 A ,  H01L 31/08 L

Fターム (13件)：

5F049MA20 ,  5F049MB07 ,  5F049NA10 ,  5F049NA20 ,  5F049QA16 ,  5F049WA01 ,  5F088AA20 ,  5F088AB07 ,  5F088DA11 ,  5F088DA20 ,  5F088GA05 ,  5F088GA09 ,  5F088LA01