特許
J-GLOBAL ID：200903029485208864
可変曲率ミラー及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-155746
公開番号（公開出願番号）：特開平8-020282
出願日： 1994年07月07日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：
【要約】【目的】 部品点数を少なくして、組立工数を削減すると共に製造コストを安くし、また、ミラーの鏡面の曲率検知精度を高くする。【構成】 本発明の可変曲率ミラーは、ミラー3を押圧してミラー3の鏡面の曲率を可変する押圧体と、この押圧体を駆動するモータとを備えて成るものにおいて、ミラー3を、湾曲変形可能な透明ガラス板10と、この透明ガラス板10の裏面のほぼ全面に薄膜成膜方法により形成された反射膜11と、透明ガラス板10の裏面の縁部に反射膜11と同時に薄膜成膜方法により形成された歪センサ12とから構成したものである。これにより、歪センサ12をミラー3に簡単且つ容易に一体化することが可能であるから、部品点数及び組立工数が少なくなると共に、ミラーの鏡面の歪(曲率)検知精度が高くなる。
請求項（抜粋）：
ミラーを押圧してミラーの鏡面の曲率を可変する押圧手段と、この押圧手段を駆動する駆動手段とを備えて成る可変曲率ミラーにおいて、前記ミラーを、湾曲変形可能な透明基板と、この透明基板の裏面のほぼ全面に薄膜成膜方法により形成された反射膜と、前記透明基板の裏面の縁部に前記反射膜と同時に薄膜成膜方法により形成された歪センサとから構成したことを特徴とする可変曲率ミラー。
IPC (4件)：
B60R 1/00
, G02B 5/10
, G02B 7/182
, G02B 7/185
