特許
J-GLOBAL ID：200903029487021630
レーザ光出力装置とレーザ光波面制御方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-294397
公開番号（公開出願番号）：特開平5-136509
出願日： 1991年11月11日
公開日（公表日）： 1993年06月01日
要約：
【要約】【目的】 形状可変鏡の反射面を小型のアクチュエータを用い長時間継続して制御し、レーザ光の波面制御を行う。【構成】 複数のアクチュエータ2a,2bを夫々進退させることで反射面1a,1bの凹凸形状が変化する形状可変鏡12にてレーザビームを反射させ目標位置に集光させるときに、各アクチュエータ2a,2bを進退させる制御中にいずれかのアクチュエータ2aの変位量が変位限界Δlに達したとき当該アクチュエータ2aの変位量をレーザ光の波長の整数倍の距離だけ元に戻してから各アクチュエータ2a,2bを進退させる制御を継続する。
請求項（抜粋）：
複数のアクチュエータを夫々進退させることで反射面の凹凸形状が変化する形状可変鏡にてレーザビームを反射させ目標位置に集光させるレーザ光出力装置において、各アクチュエータを進退させる制御中にいずれかのアクチュエータの変位量が変位限界に達したとき当該アクチュエータの変位量をレーザ光の波長の整数倍の距離だけ元に戻してから各アクチュエータを進退させる制御を継続する制御手段を設けたことを特徴とするレーザ光出力装置。
IPC (3件)：
H01S 3/101
, G02B 5/08
, G02B 5/136
