特許

J-GLOBAL ID：200903029495379420

感放射線性樹脂組成物

発明者： 銅木 克次 ,  村田 清 ,  梶田 徹 ,  下川 努
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
代理人 (1件)： 福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-291291
公開番号（公開出願番号）：特開2001-109157
出願日： 1999年10月13日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】 化学増幅型レジストとして、放射線に対する透明性が高く、しかもドライエッチング耐性、感度、解像度、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れるとともに、微細加工時の現像欠陥を生じることがなく、半導体素子を高い歩留りで製造しうる感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)下記式に示す各繰返し単位を有する樹脂に代表されるアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性基含有樹脂であって、該酸解離性基が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有する。【化1】

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1)に示す繰返し単位(1-I) 、繰返し単位(1-II) および繰返し単位(1-III) を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性基含有樹脂であって、該酸解離性基が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、A1 およびB1 は相互に独立に水素原子または炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を示し、X1 およびY1 は相互に独立に水素原子、1価の酸素含有極性基または1価の窒素含有極性基を示し、かつX1 とY1 の少なくとも1つは該酸素含有極性基または該窒素含有極性基であり、nは0〜2の整数であり、R1 は水素原子またはメチル基を示し、R2 は脂環式骨格を有する炭素数3〜15の2価の炭化水素基を示す。〕

IPC (2件)：

G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (17件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BE08 ,  2H025BE10 ,  2H025BF02 ,  2H025BF03 ,  2H025BG00 ,  2H025FA17