特許
J-GLOBAL ID：200903029496114985
電子放出素子、それを用いた電子源、画像形成装置、及びそれらの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-170725
公開番号（公開出願番号）：特開平9-330650
出願日： 1996年06月11日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：
【要約】【課題】 高品位画像形成装置を実現し得る電子ビーム源としての電子放出素子を提供する。【解決手段】 基板1上の素子電極2,3間に、電子放出部5を有する導電性膜4を備える電子放出素子において、導電性膜4が、基板1上での被覆形状が迷路図状のNi又はNiとNi酸化物からなる膜であることを特徴とする。【効果】 低電力で形状の揃った電子放出部を形成でき、素子毎の特性のバラツキを低減できる。
請求項（抜粋）：
基体上の一対の電極間に、電子放出部を有する導電性膜を備える電子放出素子において、前記導電性膜は、基板上での被覆形状が迷路図状のNi又はNiとNi酸化物からなることを特徴とする電子放出素子。
IPC (3件)：
H01J 1/30
, H01J 9/02
, H01J 31/12
H01J 1/30 B
, H01J 9/02 B
, H01J 31/12 C
