特許

J-GLOBAL ID：200903029496668042

走査型回折電子顕微鏡

発明者： 丸井 隆雄
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 塩野入 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-137269
公開番号（公開出願番号）：特開平5-334984
出願日： 1992年05月28日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：

【要約】【目的】 大型で高価な装置や製作が難しい部材を用いることなく表面微小部の結晶性評価や表面での結晶粒の方位分布の観察を行うことのできる装置を提供する。【構成】 試料1に一次電子線10を照射する一次電子線照射手段14と、前記一次電子線1を走査する走査手段4と、前記試料からの回折電子線11を検出する回折電子線検出手段6,7とによって走査型回折電子顕微鏡を構成し、前記一次電子線10のエネルギーを前記一次電子線10が試料の内部にまで侵入する程度の高エネルギーとし、前記一次電子線10の前記試料1に対する入射角度を数十度の深い角度とすることによって、試料1の結晶性評価や結晶粒の方位分布の観察を行う。

請求項（抜粋）：

(a)試料に一次電子線を照射する一次電子線照射手段と、(b)前記一次電子線を走査する走査手段と、(c)前記試料からの回折電子線を検出する回折電子線検出手段とからなり、(d)前記一次電子線のエネルギーを前記一次電子線が前記試料の内部にまで侵入する程度の高エネルギーとし、(e)前記一次電子線の前記試料に対する入射角度を数十度の深い角度とすることを特徴とする走査型回折電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/295 ,  G01N 23/20

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-246861
  
• 特開昭53-059485
  
• 特開昭53-059486