特許
J-GLOBAL ID：200903029497831737
電子ビ-ム露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-158603
公開番号（公開出願番号）：特開平5-013314
出願日： 1991年06月28日
公開日（公表日）： 1993年01月22日
要約：
【要約】【目的】この発明は、電子ビ-ムによってパタ-ンを直接描画する露光装置において、装置の小形化やダストの発生を少なくできるようにした露光装置を提供することを最も主要な目的とする。【構成】描画室31の一側面に第1の仕切り弁35を介して接続されたスライドテ-ブル38を有する受け渡し室34の一端側に第2の仕切り弁39を介して供給室41、他端側に第3の仕切り弁42を介して回収室43を接続し、供給室41にスライドテ-ブル38へ未処理の半導体ウエハ5を供給する供給ロボット45を設け、回収室43に処理された半導体ウエハ5を回収する回収ロボット47を設けるとともに、受け渡し室43の中途部に描画室31と受け渡し室34との間で半導体ウエハ5の受け渡しを行うロ-ダ44を設けたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
一方向に3ワ-ク分並べられる受け渡し室と、2つのワ-クを並べられる搭載面を有し、上記一方向に1ワ-ク分往復動可能に上記受け渡し室に設けられたスライドテ-ブルと、上記受け渡し室の中間部に上記ワ-クが通過可能に第1の遮断機構を介して接続された描画室と、上記受け渡し室の一端側に第2の遮断機構を介して接続された供給室および他端側に第3の遮断機構を介して接続された回収室と、上記供給室に設けられ上記スライドテ-ブルの一端側に未処理のワ-クを供給する供給手段と、上記受け渡し室の中途部に接続され上記描画室から処理済みのワ-クを取出して上記スライドテ-ブルの他端側に載置するとともに、上記スライドテ-ブルが受け渡し室の一端側から他端側へ駆動されることで上記スライドテ-ブルの一端側に設けられた未処理のワ-クを上記描画室に供給する受け渡し手段と、上記回収室に設けられ上記受け渡し手段によって上記スライドテ-ブルの他端側に載置された処理済みのワ-クを上記回収室に回収する回収手段とを具備したことを特徴とする電子ビ-ム露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 504
