特許

J-GLOBAL ID：200903029498483791

薄膜または厚膜の熱伝導率測定方法

発明者： 徳田 満 ,  加藤 雅一 ,  布施 雅志 ,  幾世橋 広
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社 ,  幾世橋 広
代理人 (1件)： 中尾 俊輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-266462
公開番号（公開出願番号）：特開平7-120422
出願日： 1993年10月25日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：

【要約】【目的】 薄膜あるいは厚膜の熱伝導率を精度よく、一意的に求めること。【構成】 被測定膜2と熱伝導率が既知の基準物質4とを前記被測定膜2の表面を外気から遮断するように密着させ、前記被測定膜2と前記基準物質4との密着部の間に発熱源1を介在させ、前記発熱源1に電力を供給して発熱させて被測定膜2を加熱し、その熱によって生じる前記被測定膜2の温度変化を発熱源1の電気抵抗値の変化をもって測定することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

発熱源によって被測定膜を加熱し、その熱によって生じる被測定膜の温度変化を測定することによって被測定膜の熱伝導率を求める熱伝導率測定方法において、被測定膜と熱伝導率が既知の基準物質とを前記被測定膜の表面を外気から遮断するように密着させ、前記被測定膜と前記基準物質との密着部の間に発熱源を介在させ、前記発熱源に電力を供給して発熱させて被測定膜を加熱し、その熱によって生じる前記被測定膜の温度変化を発熱源の電気抵抗値の変化をもって測定することを特徴とする薄膜または厚膜の熱伝導率測定方法。