特許

J-GLOBAL ID：200903029500304069

電子ビーム露光装置における電子ビーム遮断方法及び電子ビーム露光装置

発明者： 馬渕 悟
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-324615
公開番号（公開出願番号）：特開平9-162111
出願日： 1995年12月13日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】【課題】電子ビームを遮断するときには、十分な偏向量を確保しながら、その偏向動作を高速に行って、スループットを向上させ得る電子ビーム遮断方法及び電子ビーム露光装置を提供する。【解決手段】偏向アンプ2で対向電極1a,1bへ偏向電圧を印加することにより、電子ビーム3が偏向されて、電子ビーム3の試料7面上への照射がアパーチャー4で遮断される。電子ビーム3の遮断動作時に、対向電極1a,1bの一方の電位が引き上げられ、他方の電位が引き下げられる。

請求項（抜粋）：

偏向アンプで対向電極へ偏向電圧を印加することにより、電子ビームを偏向させて、電子ビームの試料面上への照射をアパーチャーで遮断する電子ビーム露光装置における電子ビーム遮断方法であって、前記電子ビームの通過動作時に、前記対抗電極の電位を0とし、前記電子ビームの遮断動作時に、前記対向電極の一方の電位を引き上げ、他方の対向電極の電位を引き下げることを特徴とする電子ビーム露光装置における電子ビーム遮断方法。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  H01J 37/147

FI (4件)：

H01L 21/30 541 B ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  H01J 37/147 C