特許
J-GLOBAL ID:200903029500692247

水晶用研磨機のキャリア

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-095222
公開番号(公開出願番号):特開平6-278015
出願日: 1993年03月30日
公開日(公表日): 1994年10月04日
要約:
【要約】【目的】 本発明の目的は、水晶板の研磨後の周波数のバラツキを非常に小さくし、厚みの再修正しなければならない割合を格段に少なくすることにより、歩留りを向上して、水晶板研磨の工数が削減されコストダウンを達成することである。【構成】 水晶用研磨機に使用するキャリアのワークを入れる孔の形状を、従来の丸孔、四角形に変えて多角形を採用することにより、水晶板の研磨後の厚みのバラツキを非常に小さくして、厚みの再度厚みの修正しなければならない割合を格段に少なくしている。特に八角形において、優れた特性が得られている。
請求項(抜粋):
水晶用研磨機に使用するキャリアにおいて、ワークを入れる孔の形状が多角形であることを特徴とする水晶用研磨機のキャリア。
IPC (3件):
B24B 37/04 ,  B24B 1/00 ,  B24B 7/17

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