特許
J-GLOBAL ID：200903029502418770
間接的に加熱されるカソードイオンソース用の制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹内 澄夫 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-584451
公開番号（公開出願番号）：特表2003-533848
出願日： 2001年05月15日
公開日（公表日）： 2003年11月11日
要約：
【要約】【解決手段】間接的に加熱されるカソードイオンソースはアークチャンバから注出されるイオン電流を感知するための注出電流センサ及びフィラメント電源、バイアス電源及び/またはアーク電源を制御するためのイオンソース制御器を含む。イオンソース制御器は感知した注出電流を基準注出電流と比較しかつ感知注出電流と基準注出電流との間の差に基づくエラー値を決定する。間接加熱型カソードイオンソースの電源はエラー値を最小化して実質的に一定の注出電流を維持するように制御される。イオンソース制御器はエラー値に応答して電源を制御するために例えば閉じたフィードバックループのような制御アルゴリズムを利用する。第1の制御アルゴリズムにおいて、バイアス電源によって供給されるバイアス電流IBが注出電流IEを制御するために変更される。また第1の制御アルゴリズムにしたがってフィラメント電流IF及びアーク電圧VAが一定に維持される。第2の制御アルゴリズムにしたがって、フィラメント電流IFが注出電流IEを制御するために変更される。また第2の制御アルゴリズムにしたがって、バイアス電流IB及びアーク電圧VAが一定に維持される。
請求項（抜粋）：
間接的に加熱されるカソードイオンソースであって、 注出アパーチャを有するアークチャンバを画成するアークチャンバハウジングと、 注出アパーチャの正面でアークチャンバの外側に配置された注出電極と、 アークチャンバ内に配置された間接的に加熱されるカソードと、 カソードを加熱するためのフィラメントと、 フィラメントを加熱する電流を与えるためのフィラメント電源と、 フィラメントとカソードとの間に接続されたバイアス電源と、 カソードとアークチャンバハウジングとの間に接続されたアーク電源と、 アークチャンバハウジングと注出電極との間に接続され、ビーム電流を有するイオンビームをアークチャンバから注出するための注出電源と、 基準注出電流若しくはその近傍にアークチャンバから注出されたビーム電流を制御するためのイオンソース制御器と、から成るイオンソース。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
引用文献：
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